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潔凈烤箱
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
ENOHK品牌潔凈烘箱(無(wú)塵烘箱)-FDC系列采用獨(dú)特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計(jì),通過(guò)耐高溫超高效過(guò)濾器H.E.P.A不斷對(duì)內(nèi)部進(jìn)行自凈化過(guò)濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。
產(chǎn)品特點(diǎn):
●內(nèi)膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE
●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經(jīng)酸洗磷化等防銹處理后噴塑
●保溫層:采用正廠一級(jí)100K級(jí)高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm
●過(guò)濾器:進(jìn)口耐高溫?zé)o邊框超高效過(guò)濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過(guò)濾效率99.999%
●壓差計(jì):進(jìn)口壓差計(jì),監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。
●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數(shù)字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5%
●溫度傳感器:日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%,精度高,誤差小
●鼓風(fēng)裝置:采用大功率耐高溫長(zhǎng)軸減震靜音馬達(dá),大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作
●電熱發(fā)生器:覆套式無(wú)塵化電熱發(fā)生器
●風(fēng)門調(diào)節(jié):進(jìn)口伺服電機(jī)自動(dòng)風(fēng)門裝置,自動(dòng)控制風(fēng)門開(kāi)關(guān),確保烘烤前后箱內(nèi)密閉
●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁(yè)鉸鏈門扣,易開(kāi)易關(guān)。
●密封膠條:采用改性無(wú)氟硅橡膠材質(zhì),耐高溫,不易老化,密封性極佳
●支撐腳輪:配置4只高承重萬(wàn)象活動(dòng)輪,前輪帶剎車,方便移動(dòng),同時(shí)配置4只水平調(diào)整腳杯
選配組件:
1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實(shí)現(xiàn)99段*99組程序控溫。
2.測(cè)試孔:可在側(cè)面加裝Φ35mm測(cè)試孔
3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過(guò)程箱門密閉,內(nèi)部環(huán)境不被破壞。
4.多點(diǎn)溫度記錄:可配置多點(diǎn)溫度記錄儀,打印機(jī)或RS485接口,連接打印機(jī)或PC設(shè)備,監(jiān)控記錄溫度狀況。
5.三色指示燈:工作狀態(tài)指示燈,待機(jī),運(yùn)行,故障閃燈光警示。
6.其它非標(biāo)訂制:可根據(jù)客戶實(shí)際需求提供產(chǎn)品訂制
FDC系列無(wú)塵潔凈烘箱規(guī)格一覽表:
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
ENOHK品牌潔凈烘箱(無(wú)塵烘箱)-FDC系列采用獨(dú)特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計(jì),通過(guò)耐高溫超高效過(guò)濾器H.E.P.A不斷對(duì)內(nèi)部進(jìn)行自凈化過(guò)濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。
產(chǎn)品特點(diǎn):
●內(nèi)膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE
●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經(jīng)酸洗磷化等防銹處理后噴塑
●保溫層:采用正廠一級(jí)100K級(jí)高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm
●過(guò)濾器:進(jìn)口耐高溫?zé)o邊框超高效過(guò)濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過(guò)濾效率99.999%
●壓差計(jì):進(jìn)口壓差計(jì),監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。
●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數(shù)字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5%
●溫度傳感器:日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%,精度高,誤差小
●鼓風(fēng)裝置:采用大功率耐高溫長(zhǎng)軸減震靜音馬達(dá),大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作
●電熱發(fā)生器:覆套式無(wú)塵化電熱發(fā)生器
●風(fēng)門調(diào)節(jié):進(jìn)口伺服電機(jī)自動(dòng)風(fēng)門裝置,自動(dòng)控制風(fēng)門開(kāi)關(guān),確保烘烤前后箱內(nèi)密閉
●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁(yè)鉸鏈門扣,易開(kāi)易關(guān)。
●密封膠條:采用改性無(wú)氟硅橡膠材質(zhì),耐高溫,不易老化,密封性極佳
●支撐腳輪:配置4只高承重萬(wàn)象活動(dòng)輪,前輪帶剎車,方便移動(dòng),同時(shí)配置4只水平調(diào)整腳杯
選配組件:
1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實(shí)現(xiàn)99段*99組程序控溫。
2.測(cè)試孔:可在側(cè)面加裝Φ35mm測(cè)試孔
3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過(guò)程箱門密閉,內(nèi)部環(huán)境不被破壞。
4.多點(diǎn)溫度記錄:可配置多點(diǎn)溫度記錄儀,打印機(jī)或RS485接口,連接打印機(jī)或PC設(shè)備,監(jiān)控記錄溫度狀況。
5.三色指示燈:工作狀態(tài)指示燈,待機(jī),運(yùn)行,故障閃燈光警示。
6.其它非標(biāo)訂制:可根據(jù)客戶實(shí)際需求提供產(chǎn)品訂制
FDC系列無(wú)塵潔凈烘箱規(guī)格一覽表:
設(shè)備型號(hào) | FDC-2 | FDC-3 | FDC-4 | FDC-5 | FDC-2D | FDC-3D |
控溫范圍 | 50~200℃(最高可訂制400℃) | |||||
溫度分辨率 | 0.1℃ | |||||
溫度波動(dòng)度 | ±0.5℃ | |||||
溫度均勻度 | ±1.5%(200℃恒溫空載測(cè)試數(shù)據(jù)) | |||||
潔凈度 | class10/100/1000 | |||||
過(guò)濾器效率 | H13~H14 | |||||
內(nèi)部尺寸mm | W600*D500*H600 | W600*D500*H900 | W800*D600*H1000 | W800*D800*H1000 | (W600*D600*H500)*2箱 | (W400*D400*H400)*3箱 |
外部尺寸mm | W950*D1180*H1410 | W950*D1180*H1710 | W1060*D1280*H1810 | W1060*D1480*H1660 | W1630*D1220*H1780 | W1430*D1020*H1880 |
層架 | 2PCS | 4PCS |
電源 | AC 220V 50HZ | AC 380V 50HZ | ||||
功率 | 7KW | 9KW | 12KW | 16KW | 16KW | 18KW |
定時(shí)范圍 | 0~99H/M/S | |||||
送風(fēng)方式 | 單向水平送風(fēng) | |||||
升溫時(shí)間 | RT~200℃約20min | |||||
控溫方式 | P.I.D | |||||
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) | 單門,控制柜位于頂部 | 多倉(cāng),控制柜位于側(cè)面 | ||||
內(nèi)部材料 | SUS304# | |||||
外部材料 | 鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼 | |||||
安全保護(hù)措施 | 1.接地保護(hù) 2.過(guò)載保護(hù)3. 相序保護(hù) 4.超溫保護(hù) 5. 獨(dú)立限溫保護(hù) |
選配 | 7寸觸摸屏HMI人機(jī)界面控制器(帶歷史曲線,USB轉(zhuǎn)存儲(chǔ)功能,配套PC端軟件及聯(lián)網(wǎng)端口),φ25mm/φ50mm/φ100mm測(cè)試孔 電磁門禁系統(tǒng),溫度校準(zhǔn),非標(biāo)訂制服務(wù)。 |