高溫無氧無塵烘箱主要應用于半導體、新材料涂膠鍍膜影印前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜烘( Hard baking),PI聚酷酷胺等膠水的固化工藝,化、酸、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發(fā)機構。本設備內部采用強制對流風道,加熱控制系統(tǒng),配合無氧充氮控制系統(tǒng)及在線式氧含量分析系統(tǒng),結合耐高溫高效過濾HEPA(選配),確保工作室內達到無氧無塵的潔凈防氧化環(huán)境。
產品特點:
●外殼:采用1.2mm厚優(yōu)質冷軋鋼板噴塑處理,表面平整、耐刮傷,易清潔。
●內膽:采用2.0~2.5mm厚SUS304# 鏡面不銹鋼材質經滿焊處理,箱內光亮潔凈,密閉性極佳。
●管路:內部管路采用無縫不銹鋼管件焊接處理,確保管路無漏氣滲透現(xiàn)象。
●氮氣控制:雙流量計節(jié)氮系統(tǒng),雙延時充氮控制,無氧、低氧環(huán)境下最大節(jié)省氮氣消耗量。
●保溫層:內部采用硅酸鋁巖棉保溫材料,防火、阻燃,采用人工填充,厚度80mm
●溫控器:采用日本富士智能PID溫度控制器,控溫精準,具傳感器斷線報警、超溫保護,偏差修正等功能。
●溫度傳感器:采用進口PT100鉑熱電阻(可選K型熱電偶),精度高,誤差小。
●電熱發(fā)生器:采用不銹鋼黑熱發(fā)生器,壽命長,安全穩(wěn)定,連續(xù)烘烤壽命>10000小時
●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作
●層架:內部蛇腹層架結構,層板高度可任意調節(jié),自由分配箱內空間
●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈,防爆安全把手,堅固耐用,易開易關,松緊可調。
●密封膠條:采用改性硅橡膠材質,可在高溫環(huán)境下長期連續(xù)使用,耐老化,密封性極佳
●腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動。
可選組件:
●程序升溫:溫度控制系統(tǒng)可升級為可編程多段曲線升溫。
●門控系統(tǒng):電磁鎖確保烘箱加熱過程箱門密閉
●風門調節(jié)裝置:機械旋鈕式手動風門調節(jié)/自動控制二者選一。
●氮氣凈化系統(tǒng):微型油水塵埃過濾組mini fulter,可對氮氣油水、0.1μm顆粒進行過濾
●溫度監(jiān)測聯(lián)網:可安裝溫度記錄儀,監(jiān)測、記錄、打印、聯(lián)網
●氧含量分析儀:可加配氧含量測試儀,記錄打印
設備型號 | FO(C)-2 | FO(C)-3 | FO (C)-4 | FO(C)-5 | FO ( C)-2D | FO (C)-3D |
控溫范圍 | 50~250°C(最高可訂制500°C) | |||||
溫度分辨率 | 0.1℃ | |||||
溫度波動度 | ±0.5°C | |||||
溫度均勻度 | ±1.5%(200C恒溫空載測試數據) | |||||
氧含量 | <10ppm | |||||
潔凈度(選配) | 選配 | |||||
內寸(mm)W*D*H | 450*400*500 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 800*600*1000 | (600*600*500)*2箱 | (400*400*400)*3箱 |
層架 | 2PCS | 4PCS | ||||
電源 | AC380V50HZ | |||||
功率 | 7KW | 11KW | 16KW | 18KW | 16KW | 18KW |
定時范圍 | 0~999H/M/S | |||||
送風方式 | 單向水平送風 | |||||
升溫時間 | RT~250C約25min | |||||
控溫方式 | AD+PID | |||||
結構設計 | 單門,控制柜位于頂部 | 多倉,控制柜位于側面 | ||||
內部材料 | SUS304# | |||||
外部材質 | 鋼板烤漆/拉絲或鏡面不銹鋼 | |||||
安全保護措施 | 1.接地保護 2.過載保護 3.相序保護 4.超溫保護 5.獨立限溫保護 | |||||
選配 | 7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線,USB轉存儲功能,配套PC端軟件及聯(lián)網端口);電磁門禁系統(tǒng)溫度校準,多點溫度監(jiān)控系統(tǒng),非標訂制服務 |